(?)　(?)高(Gao)温(Wen)烧(Shao)结(Jie)炉(Lu)主(Zhu)要(Yao)用(Yong)于(Yu)半(Ban)导(Dao)体(Ti)元(Yuan)器(Qi)件(Jian)及(Ji)电(Dian)力(Li)整(Zheng)流(Liu)器(Qi)件(Jian)的(De)烧(Shao)结(Jie)工(Gong)艺(Yi)，(?)可(Ke)进(Jin)行(Xing)真(Zhen)空(Kong)烧(Shao)结(Jie)，(?)气(Qi)体(Ti)保(Bao)护(Hu)烧(Shao)结(Jie)及(Ji)常(Chang)规(Gui)烧(Shao)结(Jie)，(?)是(Shi)半(Ban)导(Dao)体(Ti)设(She)备(Bei)系(Xi)列(Lie)中(Zhong)一(Yi)种(Zhong)新(Xin)颖(Ying)的(De)工(Gong)艺(Yi)装(Zhuang)备(Bei)。(?)下(Xia)面(Mian)详(Xiang)解(Jie)高(Gao)温(Wen)烧(Shao)结(Jie)炉(Lu)的(De)几(Ji)种(Zhong)常(Chang)见(Jian)故(Gu)障(Zhang)应(Ying)对(Dui)措(Cuo)施(Shi)：(?)
 

　(?)　(?)一(Yi)、(?)冷(Leng)却(Que)水(Shui)异(Yi)常(Chang)
 

　(?)　(?)1、(?)确(Que)认(Ren)加(Jia)热(Re)电(Dian)源(Yuan)已(Yi)停(Ting)止(Zhi)。(?)
 

　(?)　(?)2、(?)炉(Lu)外(Wai)发(Fa)生(Sheng)漏(Lou)水(Shui)，(?)冷(Leng)却(Que)水(Shui)量(Liang)异(Yi)常(Chang)时(Shi)，(?)应(Ying)尽(Jin)快(Kuai)采(Cai)取(Qu)应(Ying)急(Ji)措(Cuo)施(Shi)，(?)如(Ru)能(Neng)保(Bao)证(Zheng)水(Shui)量(Liang)，(?)请(Qing)继(Ji)续(Xu)保(Bao)持(Chi)真(Zhen)空(Kong)，(?)如(Ru)不(Bu)能(Neng)采(Cai)取(Qu)应(Ying)急(Ji)措(Cuo)施(Shi)，(?)保(Bao)持(Chi)原(Yuan)状(Zhuang)，(?)确(Que)认(Ren)设(She)备(Bei)冷(Leng)却(Que)下(Xia)来(Lai)。(?)
 

　(?)　(?)3、(?)冷(Leng)却(Que)水(Shui)发(Fa)生(Sheng)异(Yi)常(Chang)时(Shi)，(?)设(She)备(Bei)处(Chu)于(Yu)停(Ting)止(Zhi)状(Zhuang)态(Tai)，(?)马(Ma)上(Shang)接(Jie)通(Tong)紧(Jin)急(Ji)用(Yong)冷(Leng)却(Que)水(Shui)。(?)
 

　(?)　(?)4、(?)在(Zai)高(Gao)温(Wen)(超(Chao)过(Guo)200℃(?)即(Ji)视(Shi)为(Wei)高(Gao)温(Wen))时(Shi)，(?)如(Ru)果(Guo)冷(Leng)却(Que)水(Shui)停(Ting)止(Zhi)了(Liao)，(?)如(Ru)果(Guo)不(Bu)能(Neng)紧(Jin)急(Ji)送(Song)水(Shui)，(?)水(Shui)冷(Leng)电(Dian)极(Ji)、(?)换(Huan)热(Re)器(Qi)、(?)真(Zhen)空(Kong)室(Shi)壳(Ke)体(Ti)及(Ji)各(Ge)泵(Beng)可(Ke)能(Neng)被(Bei)损(Sun)坏(Huai)。(?)
 

　(?)　(?)二(?)、(?)压(Ya)缩(Suo)空(Kong)气(Qi)的(De)停(Ting)止(Zhi)
 

　(?)　(?)1、(?)压(Ya)缩(Suo)空(Kong)气(Qi)异(Yi)常(Chang)报(Bao)警(Jing)时(Shi)，(?)设(She)备(Bei)处(Chu)于(Yu)停(Ting)止(Zhi)状(Zhuang)态(Tai)，(?)应(Ying)尽(Jin)快(Kuai)到(Dao)备(Bei)用(Yong)的(De)压(Ya)缩(Suo)机(Ji)房(Fang)，(?)让(Rang)其(Qi)恢(Hui)复(Fu)工(Gong)作(Zuo)。(?)
 

　(?)　(?)2、(?)真(Zhen)空(Kong)中(Zhong)如(Ru)压(Ya)缩(Suo)空(Kong)气(Qi)异(Yi)常(Chang)报(Bao)警(Jing)，(?)且(Qie)恢(Hui)复(Fu)需(Xu)要(Yao)较(Jiao)长(Chang)时(Shi)间(Jian)时(Shi)，(?)则(Ze)终(Zhong)止(Zhi)真(Zhen)空(Kong)，(?)让(Rang)设(She)备(Bei)停(Ting)下(Xia)来(Lai)。(?)
 

　(?)　(?)三(San)、(?)停(Ting)电(Dian)
 

　(?)　(?)1、(?)停(Ting)电(Dian)时(Shi)，(?)如(Ru)果(Guo)断(Duan)水(Shui)，(?)应(Ying)立(Li)即(Ji)接(Jie)通(Tong)备(Bei)用(Yong)的(De)冷(Leng)却(Que)水(Shui)，(?)接(Jie)通(Tong)水(Shui)源(Yuan)。(?)
 

　(?)　(?)2、(?)如(Ru)果(Guo)在(Zai)非(Fei)升(Sheng)温(Wen)、(?)加(Jia)热(Re)和(He)冷(Leng)却(Que)时(Shi)，(?)能(Neng)够(Gou)尽(Jin)快(Kuai)恢(Hui)复(Fu)时(Shi)，(?)重(Zhong)新(Xin)启(Qi)动(Dong)设(She)备(Bei)，(?)继(Ji)续(Xu)运(Yun)转(Zhuan)如(Ru)需(Xu)要(Yao)较(Jiao)长(Chang)时(Shi)间(Jian)，(?)则(Ze)将(Jiang)设(She)备(Bei)保(Bao)持(Chi)原(Yuan)状(Zhuang)。(?)
 

　(?)　(?)3、(?)如(Ru)果(Guo)正(Zheng)在(Zai)加(Jia)热(Re)和(He)冷(Leng)却(Que)时(Shi)，(?)能(Neng)够(Gou)尽(Jin)快(Kuai)恢(Hui)复(Fu)时(Shi)，(?)重(Zhong)新(Xin)启(Qi)动(Dong)设(She)备(Bei)，(?)如(Ru)果(Guo)需(Xu)要(Yao)较(Jiao)长(Chang)时(Shi)间(Jian)时(Shi)，(?)则(Ze)保(Bao)持(Chi)原(Yuan)状(Zhuang)，(?)让(Rang)设(She)备(Bei)自(Zi)然(Ran)冷(Leng)却(Que)下(Xia)来(Lai)。(?)
 

　(?)　(?)四(Si)、(?)加(Jia)热(Re)电(Dian)源(Yuan)掉(Diao)电(Dian)
 

　(?)　(?)1、(?)水(Shui)压(Ya)低(Di)，(?)当(Dang)水(Shui)压(Ya)低(Di)于(Yu)0.15MPa，(?)压(Ya)力(Li)表(Biao)报(Bao)警(Jing)。(?)
 

　(?)　(?)2、(?)接(Jie)地(Di)故(Gu)障(Zhang)。(?)
 

　(?)　(?)3、(?)真(Zhen)空(Kong)放(Fang)电(Dian)，(?)水(Shui)冷(Leng)电(Dian)极(Ji)接(Jie)头(Tou)与(Yu)加(Jia)热(Re)器(Qi)连(Lian)接(Jie)处(Chu)必(Bi)须(Xu)连(Lian)接(Jie)牢(Lao)固(Gu)，(?)与(Yu)反(Fan)射(She)屏(Ping)绝(Jue)缘(Yuan)要(Yao)好(Hao)。(?)
 

　(?)　(?)4、(?)若(Ruo)炉(Lu)内(Nei)压(Ya)力(Li)为(Wei)13.3-66.5Pa时(Shi)(此(Ci)真(Zhen)空(Kong)度(Du)容(Rong)易(Yi)发(Fa)生(Sheng)放(Fang)电(Dian))。(?)电(Dian)源(Yuan)出(Chu)现(Xian)故(Gu)障(Zhang)，(?)掉(Diao)电(Dian)的(De)原(Yuan)因(Yin)可(Ke)以(Yi)认(Ren)为(Wei)由(You)于(Yu)电(Dian)介(Jie)质(Zhi)击(Ji)穿(Chuan)而(?)引(Yin)起(Qi)的(De)放(Fang)电(Dian)。(?)
 

　(?)　(?)五(Wu)、(?)充(Chong)气(Qi)气(Qi)体(Ti)(氩(Ya)气(Qi)或(Huo)氮(Dan)气(Qi))停(Ting)止(Zhi)
 

　(?)　(?)1、(?)抽(Chou)真(Zhen)空(Kong)开(Kai)始(Shi)前(Qian)，(?)气(Qi)体(Ti)充(Chong)入(Ru)时(Shi)间(Jian)长(Chang)或(Huo)者(Zhe)无(Wu)法(Fa)充(Chong)入(Ru)时(Shi)，(?)请(Qing)确(Que)认(Ren)气(Qi)体(Ti)管(Guan)路(Lu)是(Shi)否(Fou)被(Bei)堵(Du)塞(Sai)。(?)
 

　(?)　(?)2、(?)如(Ru)气(Qi)体(Ti)管(Guan)路(Lu)没(Mei)问(Wen)题(Ti)，(?)检(Jian)查(Cha)电(Dian)磁(Ci)阀(Fa)及(Ji)气(Qi)体(Ti)充(Chong)气(Qi)阀(Fa)的(De)动(Dong)作(Zuo)，(?)为(Wei)了(Liao)安(An)全(Quan)与(Yu)其(Qi)相(Xiang)关(Guan)联(Lian)的(De)设(She)备(Bei)要(Yao)全(Quan)部(Bu)停(Ting)止(Zhi)后(Hou)再(Zai)进(Jin)行(Xing)检(Jian)查(Cha)。(?)
 

　(?)　(?)3、(?)向(Xiang)真(Zhen)空(Kong)室(Shi)内(Nei)充(Chong)气(Qi)不(Bu)能(Neng)停(Ting)止(Zhi)的(De)情(Qing)况(Kuang)下(Xia)，(?)泄(Xie)压(Ya)阀(Fa)动(Dong)作(Zuo)如(Ru)泄(Xie)压(Ya)阀(Fa)动(Dong)作(Zuo)时(Shi)，(?)要(Yao)关(Guan)闭(Bi)气(Qi)体(Ti)供(Gong)给(Gei)阀(Fa)及(Ji)配(Pei)管(Guan)在(Zai)内(Nei)的(De)所(Suo)有(You)气(Qi)体(Ti)系(Xi)统(Tong)。(?)
 

　(?)　(?)4、(?)确(Que)认(Ren)气(Qi)体(Ti)充(Chong)气(Qi)配(Pei)管(Guan)是(Shi)否(Fou)有(You)漏(Lou)气(Qi)的(De)地(Di)方(Fang)，(?)如(Ru)有(You)会(Hui)影(Ying)响(Xiang)制(Zhi)品(Pin)质(Zhi)量(Liang)。(?)